ASML
1. 概要 ASML Holding N.V. は、オランダ・フェルドホーフェン( Veldhoven )に本社を置く半導体製造装置メーカーで、特に フォトリソグラフィ(露光)装置 の開発・製造で世界を独占的にリードしている企業です。 1984 年にフィリップス( Philips )と ASM International の合弁会社として設立され、半導体製造工程における最も微細な回路パターン形成に欠かせない露光技術を進化させてきました。 ASML は現在、 EUV ( Extreme Ultraviolet )露光装置 という、波長 13.5nm の極端紫外線を使った次世代リソグラフィ装置を唯一量産供給できる企業であり、この技術がなければ最先端の 3nm ・ 2nm 世代の半導体は作れません。 2. 歴史と成長 1984 年 : ASM International と Philips が合弁で ASML を設立。初期は露光装置市場の後発組で、キヤノンやニコンが強い時代でした。 1990 年代 :露光装置の精度や量産性で競争力を強化。縮小投影方式のステッパー技術で成長。 2000 年代 :液浸露光技術( Immersion Lithography )を開発。水を介在させることで解像度を向上し、 45nm 世代以降の微細化に対応。 2010 年代 : EUV 技術の実用化に注力。多額の研究開発費と長期的な投資により、競合が撤退する中で唯一の EUV 供給企業となる。 2020 年代 : EUV の次の世代として「 High-NA (高開口数) EUV 」を開発中。 2nm 以下のプロセス実現に不可欠とされる。 3. 主力製品と技術 ASML の主力製品は、大きく分けて以下の 2 種類です。 (1) DUV ( Deep Ultraviolet )露光装置 波長 193nm のアルゴンフッ化物( ArF )レーザーを使用。多くの量産半導体工場で現在も主力として稼働しています。液浸方式の NXT シリーズ などがあります。 (2) EUV ( Extreme Ultraviolet )露光装置 波長 13.5nm の光を用い、 1nm 台のパターン形成を可能にします。...