INFICON
INFICON 社の概要 INFICON 社は、真空計測技術、ガス分析、リークディテクション(漏れ検知)といった分野で世界的に高い評価を得ているスイス発祥の企業です。 1976 年に設立され、現在はスイスのバーデン近郊・バルディスヴィルに本社を構えています。 NASDAQ スイス市場にも上場しており、グローバルに事業を展開する公開企業です。半導体産業、真空コーティング、冷凍・空調、オートモーティブ、研究機関など、多岐にわたる分野に先端的な計測機器を提供しています。 特に真空環境下でのプロセス制御やガス検出に強みを持ち、半導体製造のクリーンルームや大型産業機械の品質保証に欠かせない存在として知られています。 主力製品と技術領域 1. 真空計測機器 INFICON の代表的な分野は真空計測です。半導体製造装置や真空蒸着装置などでは、微小な圧力の変化を正確に把握する必要があり、同社のピラニ真空計、キャパシタンスマノメータ、冷陰極イオンゲージなどが幅広く利用されています。これらは高精度で長期安定性に優れ、研究機関から産業現場まで採用されています。 2. リークディテクタ(漏れ検知装置) 冷蔵庫や自動車のエアコン、医療機器などの製造工程では、ガス漏れが製品の品質や安全性に直結します。 INFICON はヘリウムリークディテクタの分野で世界トップクラスのシェアを持ち、超微小な漏れまで高感度で検出可能です。特に「 LDS3000 」シリーズは自動車産業や冷凍機業界で標準的に採用されています。 3. ガス分析・プロセス制御 半導体製造や薄膜形成工程では、プロセス中のガス組成を正確にリアルタイムで監視する必要があります。 INFICON の質量分析計( Residual Gas Analyzer, RGA )やプロセスコントローラは、このニーズに応える製品群です。プラズマエッチングや CVD (化学気相成長)、 PVD (物理気相蒸着)などで使用され、歩留まり改善やコスト削減に貢献しています。 4. 製造現場向けのソフトウェア ハードウェアだけでなく、データ解析や装置ネットワーク管理のソフトウェア開発にも注力しています。例えば「 FabGuard 」シリーズは、半導体ファブ(工場)におけるプロセス監...